首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-289812
公開番号（公開出願番号）：特開2002-098510
出願日： 2000年09月25日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】本発明は、光軸の姿勢が変化しても、干渉計測原点の移動量を微少にすることのできる光線追尾式レーザ干渉測長器を得ることにある。【解決手段】本発明は、干渉光学系の光路中に首振り運動光てこを設け、該首振り運動光てこの反射面の中心にレーザ光線を入射し、首振り運動光てこを制御することによりその反射光線を任意の方向に変化可能とし、反射光線を計測対象であるレトロリフレクタに照射して追尾するようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

干渉光学系の光路中に首振り運動光てこを設け、該首振り運動光てこの反射面の中心にレーザ光線を入射し、首振り運動光てこを制御することによりその反射光線を任意の方向に変化可能とし、反射光線を計測対象であるレトロリフレクタに照射して追尾するようにしたことを特徴とする首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長器。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06

FI (3件)：

G01B 11/00 A , G01B 11/00 G , G01C 3/06 Z

Fターム (28件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065BB07 , 2F065BB25 , 2F065BB29 , 2F065EE05 , 2F065FF09 , 2F065FF23 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065HH04 , 2F065JJ01 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065LL17 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065MM28 , 2F065QQ17 , 2F065QQ29 , 2F112AD05 , 2F112AD10 , 2F112BA01 , 2F112CA06 , 2F112CA12 , 2F112DA09 , 2F112DA24 , 2F112GA01

前のページに戻る