加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007569
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216396
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】組み付け作業の自動化を促進することができる加速度センサを得る。【構成】加速度検出用カンチレバー14が、ICチップ12上に片持ち支持され、上面に歪みゲージ用Cr薄膜18が形成されたガラス基板15により構成されている。また、このカンチレバー14がICチップ12上に片持ち支持された状態でハイブリッドIC82上に実装されている。このため、カンチレバー14が従来の圧電体のものより小型化する。また、カンチレバー14とICチップ12との電気的接続、ICチップ12とハイブリッドIC82との電気的接続を、ワイヤボンディングを用いて行なうことができる。従って、自動ボンダを用いれば、組みつけ作業の自動化を促進することができ、これにより製造コストの低減を図ることができる。

請求項（抜粋）：

上面に配線部が形成された実装基板と、前記実装基板上に実装された信号処理回路用デバイスと、前記信号処理回路用デバイス上に片持ち支持され、少なくとも一方の面に歪みゲージ用金属薄膜が形成された基板から成る加速度検出用カンチレバーと、を有することを特徴とする加速度センサ。

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