特許
J-GLOBAL ID：200903014280521120
電子線照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-064177
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248898
出願日： 1998年02月26日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 フィラメントが1本断線した場合でも、その断線をフィラメントへの通電開始直後から検出できるようにする。【解決手段】 この電子線照射装置は、フィラメントの両端のフィラメント電圧Vf を計測するフィラメント電圧計測手段と、これで計測したフィラメント電圧Vf が与えられるフィラメント断線検出回路42とを備えている。フィラメント断線検出回路42は、基準電圧設定器44および比較器46を有している。基準電圧設定器44は、フィラメント電圧Vf に対する基準電圧Rを設定するものであり、しかも当該基準電圧Rを、フィラメントへの通電開始からの時間経過と共に大きくしかつ所定時間経過後は一定にする。比較器46は、上記フィラメント電圧Vf と基準電圧Rとを比較して、前者Vf が後者Rよりも大きいときに断線検出信号Sを出力する。
請求項（抜粋）：
電子放出用の複数本の互いに並列接続されたフィラメントを有しており、かつこの全フィラメントに流れる合計のフィラメント電流を一定に制御する方式の電子線照射装置において、前記フィラメントの両端のフィラメント電圧を計測するフィラメント電圧計測手段と、前記フィラメント電圧に対する基準電圧を設定するものであって、当該基準電圧を、フィラメントへの通電開始からの時間経過と共に大きくしかつ所定時間経過後は一定にする基準電圧設定手段と、前記フィラメント電圧計測手段で計測したフィラメント電圧と基準電圧設定手段で設定した基準電圧とを比較して、前者が後者よりも大きいときに断線検出信号を出力する比較手段とを備えることを特徴とする電子線照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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