特許
J-GLOBAL ID:200903014280630132

立方晶系窒化硼素を分散させた無秩序被覆

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小泉 淑子 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-534158
公開番号(公開出願番号):特表平11-505572
出願日: 1996年05月06日
公開日(公表日): 1999年05月21日
要約:
【要約】炭化硼素のような無秩序硼素と炭素のマトリックス中に分散された立方晶系窒化硼素の被覆をスパッタリングによって付ける。被覆は耐摩耗性、密着性、なめらかであり、工具、金型、及び摩耗部品の被覆として適している。被覆は第1領域、第2領域、及び第3領域を有する。第1領域は不活性雰囲気中で工具鋼のような基板にスパッタされ、そして無秩序硼素と炭素の少なくとも1つの層を有する。スパッタリングの不活性雰囲気は窒素で徐々に置き換えられて第2領域を形成し、この第2領域は無秩序硼素と炭素のマトリックス中に分散された、濃度が徐々に増大する立方晶系窒化硼素を有する。第2領域の上の第3領域は外側の摩耗層であり、これは、無秩序硼素と炭素中に分散された立方晶系窒化硼素の全体にわたって実質的に均一な濃度を有する。
請求項(抜粋):
基板と、スパッタリングによって基板に付着された被覆とを有する物品であって、前記被覆が無秩序硼素と炭素中に分散された立方晶系窒化硼素を有する、前記物品。
IPC (3件):
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  C23C 14/38
FI (3件):
C23C 14/06 P ,  B23B 27/14 A ,  C23C 14/38

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