特許
J-GLOBAL ID：200903014303297738
基板の片面研摩方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288083
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136927
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は石英ガラス基板などの基板を内側にクッション材を有するプレッシャープレートを用いて片面研摩する方法におけるキズ、ピットなどの欠陥の発生を減少させ、この欠陥を除去するポリッシュ回数をを減少させる基板の片面研摩方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による基板の片面研摩方法は、内側にクッション材を介在させたプレッシャープレートを用いて、定盤に配置したキャリヤー内に保持した基板の片面を研摩する基板の片面研摩方法において、該クッション材の表面に親水性物質を塗布してなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
内側にクッション材を介在させたプレッシャープレートを用いて、定盤に配置したキャリアー内に保持した基板の片面を研摩する基板の片面研摩方法において、該クッション材の表面に親水性物質を塗布してなることを特徴とする基板の片面研摩方法。
引用特許：
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