特許
J-GLOBAL ID:200903014308638266

蛍光体薄膜およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-269572
公開番号(公開出願番号):特開平10-116568
出願日: 1996年10月11日
公開日(公表日): 1998年05月06日
要約:
【要約】【課題】 小型・高精細な蛍光体薄膜とその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板1上にストライプ状に形成された透明電極2と、透明電極2上にストライプ状に形成された蛍光体層3と、蛍光体層3上に帯電防止層4が形成され、透明電極2および蛍光体層3がストライプ状の無発光壁5により分離されている蛍光体薄膜で、ストライプ状の無発光壁5が光を透過しない材料からなるものである。また、蛍光体薄膜の製造方法は、基板1に近接したスリットマスク上からの堆積によって形成するもので、蛍光体の結晶性の改質を行うために熱処理を行う。また、熱処理は赤外線ランプ加熱炉、レーザー光発生器により行い、この熱処理は急速加熱、急速冷却であることが望ましい。
請求項(抜粋):
基板上にストライプ状に形成された透明電極と、前記透明電極上にストライプ状に形成された蛍光体薄膜と、前記蛍光体薄膜上に形成された帯電防止膜を備え、前記透明電極および蛍光体薄膜がストライプ状の無発光壁により分離されていることを特徴とする蛍光体薄膜。
IPC (3件):
H01J 29/32 ,  H01J 9/227 ,  H01J 31/12
FI (3件):
H01J 29/32 ,  H01J 9/227 C ,  H01J 31/12 C

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