特許
J-GLOBAL ID：200903014315094611
ウエハ処理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311331
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140496
出願日： 1992年10月26日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 ウエハを収納したカセットを運搬する搬送台車の走行通路に沿って複数のウエハ処理装置を並列配置したウエハ処理システムにおいて、メンテナンス作業者と搬送台車とが干渉し合うことをなくし、メンテナンス作業および搬送台車によるカセット搬送を完全に独立して安全かつ能率良く行えるようにする。【構成】 各ウエハ処理装置1,2のカセット受取り部5,15とカセット送り出し部6,16とを、搬送台車走行通路L側に面して配備するとともに、各ウエハ処理装置1,2の処理機構7,17を搬送台車走行通路Lに対して横向きに配備し、かつ、ウエハ処理装置1,2群の搬送台車走行通路と反対側に作業者エリアAを設定する。
請求項（抜粋）：
ウエハを収納したカセットを運搬する搬送台車の走行通路に沿って複数台のウエハ処理装置を並列配置し、各ウエハ処理装置には、未処理ウエハを収納したカセットを搬送台車から受取るカセット受取り部と、処理済みウエハを収納したカセットを搬送台車に送り出すカセット送り出し部と、カセット受取り部のカセットからウエハを取り出して処理機構に供給するとともに処理機構からの処理済みウエハをカセット送り出し部のカセットに格納するウエハ移し替え機構とを装備してあるウエハ処理システムにおいて、各ウエハ処理装置のカセット受取り部とカセット送り出し部とを、搬送台車走行通路側に面して配備し、かつ、ウエハ処理装置群の前記搬送台車走行通路と反対側に作業者エリアを設定してあることを特徴とするウエハ処理システム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B61D 27/00
, B65G 49/07
