特許
J-GLOBAL ID：200903014316922143
発光素子および発光素子用ウエハならびにその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122378
公開番号（公開出願番号）：特開平10-114600
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】 青色発光輝度のより高い発光素子が提供する。【解決手段】 この発光素子では、GaAs基板(8)の上に窒化ガリウム化合物(9)を形成した後、GaAs基板(8)の少なくとも一部を除去することにより発光素子を形成する。これにより、GaAs基板(8)が除去された分だけ、GaAs基板(8)が全体に形成されている場合に比べて光の吸収量が低減され、それにより、青色発光輝度の高い発光素子が得られる。
請求項（抜粋）：
GaAs基板上に窒化ガリウム化合物を形成する工程と、前記窒化ガリウム化合物を形成した後、前記GaAs基板の少なくとも一部を除去する工程とを備えた、発光素子用ウエハの製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/40 502
, H01L 21/205
, H01L 33/00
, H01S 3/18
C30B 29/40 502 F
, H01L 21/205
, H01L 33/00 C
, H01S 3/18
