特許

J-GLOBAL ID：200903014318917783

光ディスク原盤製造装置および製造方法

発明者： 高見沢 裕 ,  堀 和仁 ,  越山 篤 ,  市川 琢也 ,  藤井 邦英
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-036102
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233030
出願日： 1997年02月20日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】各種の規格の光ディスク原盤を製造することが可能な光ディスク原盤製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】絞り変更機構13によってレーザ発生装置11からの平行光12を絞ることによって、ガラス原盤18上のフォトレジスト19に照射されるレーザ光の中央スポット径Dの直径を変更し、これによって各種の光ディスク原盤に対応させるようにする。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生するレーザ光発生装置と、前記レーザ光発生装置によって発生されたレーザ光を絞る絞り機構と、前記絞り機構によって絞られたレーザ光が原盤上の感光層または表層に焦点を結ぶように照射する対物レンズと、をそれぞれ具備し、前記絞り機構の絞り径を変更することにより前記レーザ光のビームのスポット径を変化させるようにしたことを特徴とする光ディスク原盤製造装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 円盤状記録媒体の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-007021   出願人：ソニー株式会社
• 光学ピックアップ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-277400   出願人：ソニー株式会社
• 光ヘツドの開口絞りの大きさを調整する方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-196365   出願人：ソニー株式会社
• 光ピックアップ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-123582   出願人：三洋電機株式会社