特許
J-GLOBAL ID:200903014325629262
透明ガスバリアフィルム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石川 泰男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-098856
公開番号(公開出願番号):特開2001-277420
出願日: 2000年03月31日
公開日(公表日): 2001年10月09日
要約:
【要約】【課題】 薄くても高いガスバリア性を有するガスバリア膜が形成された透明ガスバリアフィルムを提供する。【解決手段】 基材2の片面または両面に、無機化合物からなるガスバリア膜5を有する透明ガスバリアフィルム1であって、そのガスバリア膜5は、無機化合物からなる第一の膜3を形成した後、化学エッチング液で第一の膜3の表面を溶解し、溶解後の第一の膜3の表面に再度無機化合物からなる第二の膜4を形成したことによって、上記課題を解決する。このとき、無機化合物が酸化珪素であり、化学エッチング液がフッ化水素酸、フッ化アンモニウム水溶液またはこれらの混合溶液であることが好ましく、第一の膜と第二の膜がプラズマCVD法で形成されることが好ましい。
請求項(抜粋):
基材の片面または両面に、無機化合物からなるガスバリア膜を有する透明ガスバリアフィルムであって、前記ガスバリア膜は、前記無機化合物からなる第一の膜を形成した後、化学エッチング液で当該第一の膜の表面を溶解し、当該溶解後の第一の膜の表面に再度前記無機化合物からなる第二の膜を形成してなることを特徴とする透明ガスバリアフィルム。
IPC (5件):
B32B 9/00
, B65D 65/40
, C23C 16/40
, C08J 5/18 CFD
, C08L 67:02
FI (5件):
B32B 9/00 A
, B65D 65/40 D
, C23C 16/40
, C08J 5/18 CFD
, C08L 67:02
Fターム (60件):
3E086BA04
, 3E086BA15
, 3E086BB02
, 3E086BB05
, 3E086BB22
, 3E086CA01
, 3E086CA28
, 3E086CA31
, 3E086DA02
, 3E086DA08
, 4F071AA46
, 4F071AF08Y
, 4F071AF09Y
, 4F071BC01
, 4F100AA01B
, 4F100AA01C
, 4F100AA01D
, 4F100AA01E
, 4F100AA20B
, 4F100AA20C
, 4F100AA20D
, 4F100AA20E
, 4F100AK41
, 4F100AT00A
, 4F100BA03
, 4F100BA05
, 4F100BA06
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100BA10E
, 4F100BA25
, 4F100EH66B
, 4F100EH66C
, 4F100EH66D
, 4F100EH66E
, 4F100EJ01B
, 4F100EJ01D
, 4F100EJ15B
, 4F100EJ15D
, 4F100GB15
, 4F100GB23
, 4F100JD02B
, 4F100JD02C
, 4F100JD02D
, 4F100JD02E
, 4F100JD03
, 4F100JD04
, 4F100JN01B
, 4F100JN01C
, 4F100JN01D
, 4F100JN01E
, 4F100YY00
, 4K030BA44
, 4K030BB13
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030DA08
, 4K030FA01
, 4K030LA01
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