圧電アクチュエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-053665
公開番号（公開出願番号）：特開2000-316286
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】共振周波数の変化に対して駆動周波数を迅速に変化させること。【解決手段】この圧電アクチュエータは自由端部を有し一方の面に駆動用圧電素子104とセンシング用圧電素子108貼設され他方の面に移動体102が接触することを特徴とした変位機構部103を備え、前記変位機構部103に貼設された駆動用圧電素子104に供給する交流電圧、またはセンシング用圧電素子108で検出された検出電圧に、さらに低い周波数の交流電圧を重畳する重畳手段を有することを特徴とし、現在の駆動用交流電圧の周波数と実際の共振周波数とのずれの方向が同時に検出でき、即座に共振周波数に追従できる。

請求項（抜粋）：

自由端部を有し一方の面に駆動用とセンシング用の圧電素子が貼設され他方の面に移動体が接触することを特徴とした変位機構部を備える圧電アクチュエータにおいて、前記変位機構部に貼設された駆動用圧電素子に供給する交流電圧に、さらに低い周波数の交流電圧を重畳する重畳手段を含む駆動回路を有することを特徴とした圧電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭61-164472
特開昭63-268477
超音波モータの駆動回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-335309 出願人：キヤノン株式会社

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