特許
J-GLOBAL ID：200903014327671053
気相洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-065568
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275588
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【構成】 試料支持台13が配設される容器10とノズル48とを含んで構成された気相洗浄装置において、容器10内を気密状態に保つとともに試料支持台13に対するノズル48位置を調節可能とする容器10とノズル48との接続部材40を備えている気相洗浄装置。【効果】 容器10を開放することなく、容易にノズル48の吐出孔49とウエハ14との距離を調整することができるので、ウエハ14の洗浄処理等を行う際にその均一性を高めることができるとともにパーティクルの発生をも防止することができる。
請求項（抜粋）：
試料支持台が配設される容器とノズルとを含んで構成された気相洗浄装置において、前記容器内を気密状態に保つとともに前記試料支持台に対する前記ノズル位置を調節可能とする前記容器と前記ノズルとの接続部材を備えていることを特徴とする気相洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/302
