特許
J-GLOBAL ID：200903014336747488
熱式質量流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-193218
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038652
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 安価に製作することができしかも安定性と高感度を確保できるように改良された熱式質量流量計を提供するにある。【解決手段】 バイパス管路に流れる流体を所定の分流比で分流して流す測定管路に設けられる一対の加熱測温センサを用いて先の流体の質量流量を測定する熱式質量流量計において、先の加熱測温センサとして、裏面に金属膜を施した絶縁フイルムの上に所定の抵抗パターンを形成し先の測定管路に接着剤を介して取り付けるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
バイパス管路に流れる流体を所定の分流比で分流して流す測定管路に設けられる一対の加熱測温センサを用いて前記流体の質量流量を測定する熱式質量流量計において、前記加熱測温センサとして、裏面に金属膜を施した絶縁フイルムの上に所定の抵抗パターンを形成し前記測定管路に接着剤を介して取り付けたことを特徴とする熱式質量流量計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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