特許
J-GLOBAL ID：200903014336808398
磁気力顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218776
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072229
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 磁気力顕微鏡の磁気感度のばらつきを、磁界発生用コイルを用いて、補正し、試料表面の磁界の絶対値測定を可能にし、さらに、強磁性探針を磁化して、磁気感度の向上を可能にする。【構成】 圧電素子2を振動させ、強磁性探針付き板バネ1を共振させ、レ-ザ-光4で板バネの振動を検出する。磁界発生用コイル7に電流を流し磁界を発生させる。電流と振動振幅の関係より、磁界の補正が可能。さらに、探針の磁化が行え、磁気感度の向上が可能。
請求項（抜粋）：
試料表面より受ける磁気力を変位に変換する強磁性探針付き板バネと、前記強磁性探針付き板バネを片持ち梁状に固定し、かつ、振動させる圧電素子と、前記圧電素子に交流電圧を印加する手段と、前記強磁性探針付き板バネの変位を検出する変位検出手段と、前記試料位置あるいは前記探針付近に磁界を発生するためのソレノイドと高透磁率磁芯とからなる磁界発生用コイルと、前記磁界発生用コイルに制御電流を流す電流源とからなる磁気力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01R 33/12
, G01R 33/038
, G01R 33/10
