特許

J-GLOBAL ID：200903014343796117

薄膜硬度測定法

発明者： 秋田 典孝
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 佐藤 祐介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-315199
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121364
出願日： 2001年10月12日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 DLC膜、ta-C膜など、高硬度の膜厚50nm以下の薄膜について、きわめて短時間にその硬度を測定する。【解決手段】 成膜したサンプル1の膜厚dを測定するステップ2と、同サンプル1につきラマン分光測定するステップ3と、これらで得た膜厚dとGピーク強度Igおよびラマン分光測定の際の露光時間tを用いて行う演算ステップ4とを備える。この演算ステップ4では、Gピーク強度Igの平方根の逆数をd、tで補正した値Raman(Ig)を求め、このRaman(Ig)が膜硬度Hと直線近似の関係にあることを利用し、Raman(Ig)の1次関数である近似式によって膜硬度Hを求める。

請求項（抜粋）：

サンプルの膜厚dを測定するステップと、同サンプルにつきラマン分光測定するステップと、ラマン分光測定によって得たGピーク強度Igとそのラマン分光測定の際の露光時間tと上記の膜厚dとを用い、Gピーク強度Igの平方根の逆数をd、tで補正した値Raman(Ig)を求めるとともに、Raman(Ig)が膜硬度Hと直線近似の関係にあることを利用し、Raman(Ig)の1次関数である近似式によって膜硬度Hを求める演算を行うステップとを備えることを特徴とする薄膜硬度測定法。

Fターム (7件)：

2G043AA03 ,  2G043AA06 ,  2G043CA07 ,  2G043EA03 ,  2G043GA08 ,  2G043GB21 ,  2G043NA01