加圧装置とこれを用いたバンプボンディング装置、貼り付け装置、及び圧着装置と、加圧方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-363218
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223244
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】プレートの平行状態を、作業者のノウハウに頼らず、自動調整機構により、精度の高い平行調整を可能とする加圧装置とこれを用いたバンプボンディング装置、貼り付け装置、及び圧着装置と、加圧方法を提供する。【解決手段】球面の一部で形成された軸受け面を有する吸着部25と、第一の加圧手段32に接続され、軸受け面上を摺動可能に形成された可動部24とを有し、軸受け面を形成している球面の中心Cが第1の加圧手段32の加圧面上にある。このことにより、平行調整の際に、第一の加圧手段32の加圧面上の中心Cの位置が移動することなく、第1の加圧手段32の加圧面が第2の加圧手段33の加圧面に倣うことになり、加圧面同士の面ずれによる摩擦が生じないので、高精度な平行調整を行うことができる。

請求項（抜粋）：

第1の加圧手段と第2の加圧手段との間に加圧対象物を挟み込んだ状態で前記加圧対象物を加圧する加圧装置であって、前記第1の加圧手段と前記第2の加圧手段との間の平行状態を調整する調整手段を備え、前記調整手段は複数のアクチュエータを有しており、前記各アクチュエータの伸縮動作により、少なくとも前記第1の加圧手段の加圧面を可動させて、前記平行状態の調整を行うことを特徴とする加圧装置。

IPC (4件)：

H01L 21/60 311 , B23K 20/00 , B23K 20/10 , B23K101:38

FI (4件)：

H01L 21/60 311 T , B23K 20/00 H , B23K 20/10 , B23K101:38

引用特許：

審査官引用 (4件)

ボンディング装置における傾斜調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-301748 出願人：株式会社カイジョー
TCP実装装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-109280 出願人：松下電器産業株式会社
バンプ付電子部品の圧着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-009334 出願人：松下電器産業株式会社

全件表示

前のページに戻る