特許

J-GLOBAL ID：200903014352163992

マイクロ圧電振動子とその製造方法及びマイクロ圧電振動子モジュールとその製造方法

発明者： 安達 日出夫 ,  今橋 拓也
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060741
公開番号（公開出願番号）：特開平7-274287
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】生体が有する圧覚情報または粘弾性特性やその異方性、非線形性触覚情報を検出するために、圧電素子に弾性部材を接合して不要振動を含まない共振先鋭度Qmの大きな効率の良い圧電振動をすることを特徴とする。【構成】このマイクロ圧電振動子は、パターン電極36、33を配置して厚さ方向に分極された薄板状圧電素子15と、この薄板状圧電素子15と接合状態にある弾性部材16を有している。そして、上記薄板状圧電素子15は、基板14によって、その周囲が保持されて構成されている。

請求項（抜粋）：

その両面にパターン化したパターン電極を配置した薄板状圧電素子と、この薄板状圧電素子の近傍に設けられて該圧電素子を保持する基板と、上記薄板状圧電素子の少なくとも上記パターン電極で挟まれた領域で該圧電素子が分極状態にあり、該パターン電極が配置された位置で上記圧電素子と接合される弾性部材とを具備することを特徴とするマイクロ圧電振動子。

IPC (6件)：

H04R 17/00 ,  A61B 1/00 300 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/17 ,  A61M 25/01

FI (3件)：

H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z ,  A61M 25/00 309 B