特許

J-GLOBAL ID：200903014358207070

ウエ-ハのノッチエッチング方法及び装置

発明者： 寺澤 幸彦 ,  武田 文博
出願人/特許権者： 株式会社エンヤシステム
代理人 (1件)： 亀川 義示
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-172139
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354493
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 ウエ-ハのノッチだけをエッチング処理する。【解決手段】 ウエ-ハ(1)のノッチ(4)に対応する形状の作用部(8)を有するノッチエッチング片(9)を形成する。このノッチエッチング片(9)に供給ノズル(10)からエッチング液を供給する。ウエ-ハ(1)のノッチ(4)に上記ノッチエッチング片(9)の作用部(8)を差し込み、ノッチ(4)にエッチング液を付着させる。エッチング処理は、ウエ-ハ(1)の平面の周縁部に大きな影響を与えることなく、ノッチ(4)だけをエッチングすることができる。

請求項（抜粋）：

ウエ-ハのノッチに対応する形状の作用部を有するノッチエッチング片を形成し、該ノッチエッチング片にエッチング液を供給し、該ノッチエッチング片の作用部をウエ-ハのノッチに差し込み、該ノッチエッチング片を介してエッチング液をノッチに付着し、ノッチのエッチング処理を行うことを特徴とするウエ-ハのノッチエッチング方法。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (4件)：

H01L 21/306 B ,  H01L 21/304 621 E ,  H01L 21/304 622 Y ,  H01L 21/306 Z