特許
J-GLOBAL ID：200903014359371647
フアンフイルータユニットからのノイズを最小にするための方法並びに装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-502850
公開番号（公開出願番号）：特表2000-508419
出願日： 1997年09月03日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】本発明は、フアンフイルータユニットの出口に流れを均一に分布させる前に、フアンブロワーから吸引された外部のエアーを拡散し、指向するための幾何学的なガイドとバッフルとのシステムである。この構成は、フアンフイルータユニット内の乱れを減少させるだけではなく、このシステムを通るエアーの粒子含有量を維持する。また、本発明は、フアンブロワーのディメンションに実質的に近いディメンションで設置される。このように、本発明は、限定されたクリーンルーム設備内においてでさえも、フアンフイルータユニットのノイズを最小にする。
請求項（抜粋）：
ベースプレートに配置されたフアンブロワーと、エアーが吸引される入口開口を有し、前記ベースプレートに結合された上ハウジングと、フアンフイルータユニットを囲むように上ハウジングに結合された横ハウジングとを備え、この横ハウジングがエアーが排出される出口開口を有する、フアンフイルータユニットからのノイズを最小にするための装置であり、 前記フアンフイルータユニット内で前記ベースプレート上に配置され、前記フアンブロワーから排出されるエアーを受けるようにフアンブロワーの外周に位置する少くとも1対のS字形状のガイドと、 前記フアンフイルータユニット内に配置され、前記S字形状のガイドからのエアーの流れを拡散するようにS字形状のガイドの出力側に位置され、孔が形成された少くとも1対のバッフルと、 前記フアンフイルータユニット内に配置され、前記ベースプレートの下にエアーの流れを指向するように前記孔が形成されたバッフルに近接された少くとも1対の湾曲したバッフルと、 前記ベースプレートの下側に配置され、エアーの流れを均一に分布させる少くとも1つのV字形状のバッフルとを具備し、 前記フアンフイルータユニットからのノイズがフアンフイルータユニット中を流れるエアーの流れ内に汚染物を導入することがなく、最小にされる装置。
IPC (3件)：
F24F 7/007
, B01D 46/00
, F24F 7/06
F24F 7/007 Z
, B01D 46/00 F
, F24F 7/06 C
