特許

J-GLOBAL ID：200903014365967454

イオン源

発明者： ▲桑▼原 一
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-364663
公開番号（公開出願番号）：特開2002-216652
出願日： 1993年12月01日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【目的】 ビーム発生動作の一時停止時におけるイオンの流出を完全に防止できるイオン源を提供すること。【構成】 ビーム発生動作の一時停止時にビーム引出し電極18の電位をプラズマ室よりも100V程度高電位にすることで、イオン引出し電極系16からのイオンの流出をカットする。

請求項（抜粋）：

プラズマ室の一端に少なくとも3枚のグリッド状電極を配置し、プラズマ室に近い側から1番目のグリッド状電極と2番目のグリッド状電極との間に第1の電源を接続すると共に2番目のグリッド状電極と3番目のグリッド状電極との間に第1の電源よりも高電圧の第2の電源を接続して1番目のグリッド状電極を最も高電位に保つと共に2番目、3番目のグリッド状電極を順次低電位とし、これらグリッド状電極によってプラズマ中のイオンを段階的に加速してプラズマ室より引出しイオンビームを発生するイオン源において、前記1番目のグリッド状電極と2番目のグリッド状電極との間に、前記第1の電源に対して逆バイアスとなるように第1の電源よりも低電圧の第3の電源を接続したことを特徴とするイオン源。

IPC (6件)：

H01J 27/02 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/08 ,  H05H 5/02 ,  H05H 7/08

FI (6件)：

H01J 27/02 ,  G21K 1/00 A ,  G21K 5/04 A ,  H01J 37/08 ,  H05H 5/02 ,  H05H 7/08

Fターム (11件)：

2G085BA02 ,  2G085BA19 ,  2G085BB03 ,  2G085BC11 ,  2G085CA05 ,  2G085CA15 ,  2G085EA08 ,  5C030DD06 ,  5C030DE04 ,  5C030DE09 ,  5C030DG09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平1-183097