特許
J-GLOBAL ID：200903014367095560
成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
蔦田 璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185894
公開番号（公開出願番号）：特開平7-040454
出願日： 1993年07月28日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【構成】 装置本体(12)の前部から後部に向けて走行する帯状基材(22)上でセラミックスシートを成形するための成膜装置(10)であって、帯状基材(22)の走行路の上方において、複数のノズル組体(26)が帯状基材(22)の走行方向に列設され、ノズル組体(26)は、吹出多孔板(32)をエア吹出口として下部に備えた給気用ノズル(K)と、吸入多孔板(34)をエア吸入口として下部に備えた排気用ノズル(H)とよりなり、両多孔板(32)(34)が、両多孔板間に空気流空間(33)を存した状態で、側面視ハの字状に配されている。【効果】 排気用ノズル(H)と給気用ノズル(K)とにおける流量を略同一とすることにより、排気用ノズル(H)から吸い込むに量に見合った量の空気が給気用ノズル(K)から供給されることになるので、帯状基材(22)が出入りする装置本体(12)の入口、出口などから空気が流入するおそれはなくなる。
請求項（抜粋）：
装置本体の前部から後部に向けて走行する帯状基材上で合成樹脂フィルムまたはセラミックスシートを成形する装置であって、前記帯状基材の走行路の上方において、複数のノズル組体が前記帯状基材の長手方向に列設され、前記ノズル組体は、給気用ノズルとこれに並設した排気用ノズルとよりなり、前記給気用ノズルは、下部に吹出多孔板をエア吹出口として備え、前記排気用ノズルは、下部に吸入多孔板をエア吸入口として備え、前記両多孔板が、該両多孔板間に空気流空間を存した状態で、側面視ハの字状に配されてなることを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
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