特許
J-GLOBAL ID：200903014375483714
流量測定方法及び流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-079180
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279395
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】 極微量の流量領域から比較的大きな流量領域まで広い流量範囲にわたって良好な精度及び感度での流量測定が可能な流量計を提供する。【解決手段】 傍熱定温制御式流量測定部16の出力Vh及び二定点温度差検知式流量測定部18a,18bの出力Voutに基づき、演算部により測定値を得る。流量測定部16では、発熱体163が感温体162の検知温度に基づくフィードバック制御を受け、該フィードバック制御の状態に基づき出力Vhを得る。流量測定部18a,18bでは、流体流通方向に関して流量測定部16の上流側に配置された感温体182と下流側に配置された感温体との検知温度差に基づき出力Voutを得る。演算部は、予め定められた境界流量以上の流量域では出力Vhに基づき得られる流量値を測定値として出力し、境界流量未満の流量域では出力Voutに基づき得られる流量値を測定値として出力する。
請求項（抜粋）：
流体流通路内の流体の流量を測定する方法であって、前記流量の値に関して予め定められた境界流量領域より大きな高流量領域については傍熱定温制御式流量測定により前記流体の流量を測定して得られる流量値を測定値となし、前記境界流量領域より小さな低流量領域については二定点温度差検知式流量測定により得られる流量値を測定値となし、前記境界流量領域については前記傍熱定温制御式流量測定により得られる流量値または前記二定点温度差検知式流量測定により得られる流量値を測定値となし、前記二定点温度差検知式流量測定で前記流体流通路内の流体を加熱する熱源として前記傍熱定温制御式流量測定のための測定部を使用することを特徴とする流量測定方法。
IPC (3件)：
G01F 1/696
, G01F 1/692
, G01F 1/698
G01F 1/68 201 Z
, G01F 1/68 202 Z
, G01F 1/68 104 A
2F035EA01
, 2F035EA05
, 2F035EA08
, 2F035EA09
