極低温冷凍機のヘリウム圧縮装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津田直久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061981
公開番号（公開出願番号）：特開平6-272979
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：

【要約】【目的】コストダウンができながら、運転停止する極低温冷凍機を分離するときの内圧を低圧に保持でき、冷凍機の周囲温度が異常上昇しても過昇圧を防止できる。【構成】吐出側配管3と吸入側配管5との間に高圧設定弁16をもった高圧側制御通路17と、電磁弁18をもち、この電磁弁18を開き、かつ、高圧側連絡管4を極低温冷凍機10から分離した状態でヘリウム圧縮機1を駆動するとき、ポンプダウン相当の吸引運転を可能にする通路断面積をもったバイパス通路19とを設たけもの。

請求項（抜粋）：

ヘリウム圧縮機(1)と、該圧縮機(1)の吐出側配管(3)に接続される高圧側連絡管(4)及び前記圧縮機(1)の吸入側配管(5)に接続される低圧側連絡管(6)とを備え、前記各連絡管(4)(6)を極低温冷凍機(10)に着脱可能に接続する接続部(7)(8)に、前記冷凍機(10)に対する離脱時閉じる閉鎖機構を備えた極低温冷凍機のヘリウム圧縮装置において、前記吐出側配管(3)と吸入側配管(5)との間に、高圧設定弁(16)をもった高圧制御通路(17)と、電磁弁(18)をもち、かつ、この電磁弁(18)を開き、前記高圧側連絡管(4)を前記冷凍機(10)から離脱した状態で前記圧縮機(1)を駆動するとき、ポンプダウン相当運転を可能にする通路断面積をもったバイパス通路(19)とを備えていることを特徴とする極低温冷凍機のヘリウム圧縮装置。

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