特許

J-GLOBAL ID：200903014403974176

傾斜付き基板支持具

発明者： デイヴィッド エス. バランス ,  ベンジャミン ビアマン ,  ロバート エム. ハニー ,  デイヴィッド ダブリュー. ラコート
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-302942
公開番号（公開出願番号）：特開平10-173032
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 基板の歩留りに与えるスクラッチの影響を最小限に抑える基板用支持具を提供する。【解決手段】 棚部を備えた基板支持具であって、この棚部は、この支持具が基板の実質的にエッジ部分で基板に接触するような角度で傾斜した表面を有している。棚部の角度は、基板のエッジ部分の角度よりも大きい。棚部の表面は、その平滑度が高まるように機械加工または研磨されていても良い。この基板支持具は、これにより、支持具によって生じる基板上のスクラッチの影響または深刻度を低減する。この結果、この基板支持具は、基板の歩留りを改善することになる。

請求項（抜粋）：

水平から第1の角度で傾斜した表面を有する棚部を備える基板支持具であって、前記棚部の第1角度は、この支持具が実質的に基板のエッジ部分で基板と接触するように選択されている基板支持具。