特許

J-GLOBAL ID：200903014404266604

測長または測角装置

発明者： ヴアルター・フーバー
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-221407
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174424
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 目盛板格子にサブミクロン程度の目盛周期の微細格子を使用して、非常に高い分解能とかなりな指向性許容公差とを有する測長または測角装置を提供する。【構成】 測長装置として、目盛板格子4の目盛周期TP1 が走査格子3の目盛周期TP2 の半分であり、互いに位相のずれた干渉信号J+1, J0, J-1を1個の検出器5で評価する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの検出器により干渉によって生じる分割ビーム束の強度変調を互いに位相のずれた電気信号に変換し、走査格子および目盛板格子として形成され、しかも光源から放出された光が回折して更に回折した分割ビーム束が干渉する、測定方向に相対的に移動する格子を用いて干渉により動作する測長または測角装置において、目盛板格子(4,42)が光の波長(λ)より短い目盛周期(TP1 )を有し、走査格子(3;32a,32b;33a,33b)が目盛板格子(4)の目盛周期(TP1 )のほぼ二倍または正確に二倍となり、しかも光の波長よりも長い目盛周期(TP2 )を有し、光源(2;22)の時間的なコヒーレント特性が格子(3,4;32a,32b)の間で等しい長さの光路長を戻るような分割ビーム束のみを干渉させ、光源(2;22)の空間的なコヒーレント特性が、最後に格子に入射した時、測定方向(X)にずれなしで重なるような分割ビーム束のみを干渉させることを特徴とする測長または測角装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/38