特許
J-GLOBAL ID:200903014405296094
塗装膜測定方法及び装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
青山 葆
, 河宮 治
, 石野 正弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-181433
公開番号(公開出願番号):特開2004-028618
出願日: 2002年06月21日
公開日(公表日): 2004年01月29日
要約:
【課題】塗装中において塗装膜厚を測定することができ、しかもウェット膜や多層膜の膜厚を測定でき、乾燥状態をも測定する。【解決手段】塗装膜から反射されてくるテラヘルツエコーパルスの強度に従って電気光学効果を用いて光遅延されたプローブパルス光に複屈折量を与えた後、当該プローブパルス光を電気信号に光電変換し、参照高周波信号に基づいて電気信号を同期検出してプローブパルス光の複屈折量に実質的に比例する測定信号を発生し、遅延時間量を変化させながらテラヘルツエコーパルスを時分割してその信号波形を測定する。複数のテラヘルツエコーパルス間の時間差を計算し塗装膜の膜厚を計算する。複数のテラヘルツエコーパルスの信号波形をフーリエ変換して振幅スペクトルを計算しそれらに対する振幅スペクトルの比の対数を計算して塗装膜の乾燥状態を示す吸光度の周波数特性である吸収スペクトルを計算する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
所定の繰り返し周期に比較して実質的に十分に短い持続時間を有するレーザ光を上記繰り返し周期で繰り返し発生するステップと、
所定の周波数を有する参照高周波信号を発生するステップと、
上記発生されたレーザ光をポンプパルス光として用いて、上記ポンプパルス光による光伝導効果を用いてテラヘルツ電磁波パルスを発生しかつ上記参照高周波信号に従って変調して所定の塗装膜に対して放射するステップと、
上記発生されたレーザ光であるプローブパルス光を所定の遅延時間量だけ遅延させて出力するステップと、
上記塗装膜から反射されてくるテラヘルツエコーパルスと、上記光遅延手段から出力されるプローブパルス光とを入射し、電気光学効果を用いて、上記テラヘルツエコーパルスの強度に従って上記プローブパルス光に複屈折量を与えて出力するステップと、
上記複屈折量を受けて出力されるプローブパルス光を電気信号に光電変換して出力するステップと、
上記発生された参照高周波信号に基づいて、上記電気信号を同期検出することにより、上記プローブパルス光の複屈折量に実質的に比例する測定信号を発生して出力するステップと、
上記測定信号に基づいて、上記遅延時間量を変化させながら、上記テラヘルツエコーパルスを時分割して上記テラヘルツエコーパルスの信号波形を測定するステップとを含むことを特徴とする塗装膜測定方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (13件):
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065BB17
, 2F065CC11
, 2F065FF31
, 2F065FF44
, 2F065GG04
, 2F065JJ01
, 2F065JJ18
, 2F065LL00
, 2F065LL19
, 2F065LL33
, 2F065LL36
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