特許
J-GLOBAL ID：200903014415715303
振動子片の構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102303
公開番号（公開出願番号）：特開平10-294631
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 水晶振動子等の振動子片にフォトレジストを塗布すると、フォトレジストの表面張力により縁の部分でフォトレジストが塗布されなくなる。従って、電極形成を行った場合、振動子片の側面電極と表面電極が接続される縁の部分で断線が生じてしまうという課題があった。【解決手段】 振動子片1上にレジスト4を塗布する。この時、レジスト材4の表面張力によって縁の部分にレジスト材4は塗布されない。次に、振動子片1を溶解するエッチング液で、振動子片1のレジスト材4が塗布できなかった部分をエッチングすると、エッチングした部分の縁が取れ、振動子片1の縁が縁取りされる。
請求項（抜粋）：
電極が振動子片の側面と表面に形成されており、かつ側面電極と表面電極が該振動子片上のいずれかで接続されている振動子片において、前記振動子片の縁が縁取りされていることを特徴とする振動子片の構造。
IPC (3件)：
H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03H 9/215
H03H 3/02 D
, H03H 9/19 A
, H03H 9/215
