特許

J-GLOBAL ID：200903014415819664

黒色石英ガラス発泡体及びその製造方法

発明者： 岩谷 富士雄 ,  円谷 健男 ,  関根 仁
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137703
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306142
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 炭素を1〜5重量%含有し、0.1〜1.5g/cm3の見掛け密度及び0.9以上の平均放射率を有する黒色石英ガラス発泡体で、粒子径が0.1〜1000μmφの石英ガラス粉体に炭素形成先駆物質液を加えて混合し、乾燥,粉砕した後、これを不活性ガス雰囲気中で加熱して該炭素形成先駆物質を炭化させ、次いで、得られた黒色組成物を所定形状の容器に入れて、750〜1200°Cの温度で石英ガラスをアンモニアと反応させた後、更に、これを1400〜1700°Cの温度に加熱発泡させて製造される。【効果】 本発明の方法により得られる黒色石英ガラス発泡体は、極めて均質で安定な黒色調を有し、高温酸化条件下にも強度が低下しないばかりでなく、高い遠赤外線放射率を有するので、半導体工業に極めて有用である。

請求項（抜粋）：

炭素を1〜5重量%含有し、0.1〜1.5g/cm3の見掛け密度及び0.9以上の平均放射率を有する黒色石英ガラス発泡体。

IPC (2件)：

C03C 11/00 ,  C03C 3/06