特許
J-GLOBAL ID：200903014418189327
高周波発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹井 浩毅 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268860
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119997
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 薄膜への悪影響を防ぐ。【構成】 プラズマ発生室18でアークが発生した場合、プラズマ負荷が低インピーダンスになり、コンデンサ23とインダクタ21とにより、直列共振が生じる。その直列共振による共振電流を変流器22が検出し、制御回路12がプラズマ発生室18への電力供給を制限するようにしたので、アークが成長する前に短時間でアークが消弧する。
請求項（抜粋）：
プラズマ反応装置に電力を供給して高周波放電を発生させる高周波発生装置において、前記プラズマ反応装置の電極と並列に接続され、アーク電流を検出可能なアーク電流検出回路と、プラズマ発生中にアークが発生した場合、前記アーク電流検出回路の検出信号に基づき前記プラズマ反応装置への電力供給を制限し、かつ、アーク消弧後に電力供給の制限を解除する制御回路とを備え、前記アーク電流検出回路は、アーク電流を検出するための変流器とコンデンサとインダクタとを直列接続して成ることを特徴とする高周波発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/48
, H01L 21/302
, H01L 21/31
