特許

J-GLOBAL ID：200903014419534150

液晶表示基板

発明者： 鈴木 忠勝
出願人/特許権者： 株式会社倉元製作所
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353802
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183887
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタ画素やブラックマトリクスにクラック(破裂)や皺等のダメージが現れず、線細りや断線の無い優れたパターニング性と、アルカリ等に対する耐性をもち、抵抗・透過率の優れた実用性の有る液晶表示基板を提供する。【解決手段】 カラー液晶表示パネル用のカラーフィルタ基板上に、第1層:有機ポリシラザン含有のポリシラザン溶液を塗布した後に加熱処理して得られた、膜厚60〜120nmの酸素-珪素系膜第2層:アルゴンと窒素を混合した放電気体中でのスパッタリング成膜により得られた、膜厚10〜25nmの窒素-珪素系膜第3層:アルゴンと酸素を混合した放電気体中でのスパッタリング成膜により得られた、膜厚350〜450nmのITO膜が順次配設されていることとする。

請求項（抜粋）：

カラー液晶表示パネル用のカラーフィルタ基板上に、第1層:有機ポリシラザン含有のポリシラザン溶液を塗布した後に加熱処理して得られた、膜厚60〜120nmの酸素-珪素系膜第2層:アルゴンと窒素を混合した放電気体中でのスパッタリング成膜により得られた、膜厚10〜25nmの窒素-珪素系膜第3層:アルゴンと酸素を混合した放電気体中でのスパッタリング成膜により得られた、膜厚350〜450nmのITO膜が順次配設されていることを特徴とする液晶表示基板。

IPC (3件)：

G02F 1/1333 505 ,  C23C 14/34 ,  G02B 5/20 101

FI (3件)：

G02F 1/1333 505 ,  C23C 14/34 N ,  G02B 5/20 101