特許
J-GLOBAL ID：200903014420028128
自動搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-141459
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008324
出願日： 1994年06月23日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 搬入部から搬出部に対して効率良く複数の被搬送物を搬送し得るようにする。【構成】 複数の半導体ウエハを収容したケースは搬入側の保管庫11,12に保管されていた状態から、搬送台車21a,21bに載置されて搬出側の保管庫13,14に向けて搬送路15に案内されて搬送される。このときに、搬送路15の上に空の搬送台車が存在した場合には、その搬送台車を退避路28a〜28eに退避させると、空の搬送台車を追い越して、必要な搬送台車のみを搬出側の保管庫13,14に搬送することができる。搬送すべき搬送台車の前方に、ケースを有する搬送台車が存在する場合でも、搬出側に搬送するための優先度に応じて、最優先する搬送台車以外を退避路に退避させるようにして、効率良く必要な搬送台車を搬送することができる。
請求項（抜粋）：
搬入部と搬出部との間に敷設され、前記搬入部から前記搬出部に被搬送物を搬送する搬送路と、前記搬送路に接続して設けられ被搬送物を退避させて他の被搬送物を前記搬送路上で追い越させる退避路とを有することを特徴とする自動搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23P 19/00 302
, B65G 49/07
