特許

J-GLOBAL ID：200903014421529465

超伝導高周波共振器およびフィルター

発明者： 瀬恒 謙太郎 ,  榎原 晃 ,  佐川 守一 ,  牧本 三夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101440
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299914
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 超伝導薄膜として例えば銅酸化物系材料を用いて高周波伝送線路を形成し、さらに前記伝送線路の形状を解放端を有するループ形状の伝送線路とすることにより、小型の共振器を得る。【構成】 高周波伝送線路を超伝導薄膜により形成し、前記高周波伝送線路をループ状のストリップまたはマイクロストリップ線路から構成される単一線路により構成する。例えばMgO基板1上にBi-Sr-Ca-Cu-O超伝導薄膜2をスパッタ蒸着法、レーザアブレィション法、電子ビーム蒸着法、CVD法などで形成する。熱処理後金属薄膜3を蒸着し、その上にループ状のストリップまたはマイクロストリップ線路を形成する。次に金属薄膜4を蒸着し、高周波回路装置とする。

請求項（抜粋）：

基板と、この基板表面に形成された高周波伝送線路とを少なくとも備えた高周波線路装置であって、前記高周波伝送線路を超伝導薄膜により形成し、前記高周波伝送線路をループ状のストリップまたはマイクロストリップ線路から構成される単一線路により構成したことを特徴とする超伝導高周波共振器。

IPC (6件)：

H01P 7/08 ZAA ,  C01G 1/00 ,  C01G 3/00 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA ,  H01P 1/203 ZAA ,  H01P 11/00 ZAA