特許

J-GLOBAL ID：200903014425439800

弁体の駆動機構

発明者： 林 和一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269907
公開番号（公開出願番号）：特開2001-090848
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 パーティクルが発生し難く,必要スペースが小さく,必要コストが少なく,さらに空間の密閉を確実に実現できる,駆動機構を提供する。【解決手段】 駆動機構10は,シリンダハウジング12と第1ピストン14と第2ピストン16とエアシリンダ18とLMガイド20とを備えている。エアシリンダ18によって第1ピストン14を上昇させると,支持部12dがハウジング9の天井に突き当たりシリンダハウジング12の上昇が止まる。さらにエアシリンダ18により第1ピストン14を上昇させると,第1ピストン14が第1シリンダ部12a内に押し込まれ流体Fの圧力を上昇させるため,第2ピストン16が流体Fに押されて第2シリンダ部12bから押し出され,第2ピストン16と一体化された弁体7が外壁3に押しつけられる。結果として,貫通孔に相当する搬送口5が弁体7により塞がれて,処理室PC1が密閉される。

請求項（抜粋）：

密閉する空間の外壁に形成された貫通孔を塞ぎ当該空間を密閉する弁体の駆動機構であって:内部空間が相互に連通する第1シリンダおよび第2シリンダと;前記第1シリンダ内で往復動可能な第1ピストンと;前記弁体に固定されており前記第2シリンダ内で往復動可能な第2ピストンと;前記内部空間に封入されており前記第1ピストンから印加された圧力を前記第2ピストンに伝達する流体と;前記第1ピストンの駆動手段と;を備えることを特徴とする,駆動機構。

IPC (7件)：

F16K 1/24 ,  F15B 15/00 ,  F15B 15/08 ,  F16K 31/122 ,  F16K 51/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (7件)：

F16K 1/24 Z ,  F15B 15/00 A ,  F15B 15/08 ,  F16K 31/122 ,  F16K 51/02 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (44件)：

3H052AA01 ,  3H052BA01 ,  3H052BA31 ,  3H052BA35 ,  3H052CA24 ,  3H052CD09 ,  3H052EA09 ,  3H056AA01 ,  3H056BB01 ,  3H056BB32 ,  3H056BB41 ,  3H056CA02 ,  3H056CA13 ,  3H056CB03 ,  3H056CD01 ,  3H056CD04 ,  3H056CE10 ,  3H056DD03 ,  3H056GG14 ,  3H066AA01 ,  3H066BA17 ,  3H066BA23 ,  3H066BA38 ,  3H081AA01 ,  3H081AA09 ,  3H081AA32 ,  3H081BB05 ,  3H081CC23 ,  3H081DD02 ,  3H081DD26 ,  3H081EE22 ,  3H081EE27 ,  3H081FF21 ,  3H081HH04 ,  3H081HH05 ,  5F004AA16 ,  5F004BC01 ,  5F004BC03 ,  5F004BC05 ,  5F004BC06 ,  5F045BB14 ,  5F045EB08 ,  5F045EB09 ,  5F045EB10