特許
J-GLOBAL ID：200903014432530295
シリコンをベースとした化学センサ、特にバイオセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江崎 光史 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-506928
公開番号（公開出願番号）：特表平10-504388
出願日： 1995年08月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】例えば酵素、抗体等のようなセンサとして働く物質のシリコンベースとした化学センサ、特にバイオセンサの基板表面への或いは基板内への定着が、多孔質のシリコンから成る三次元の海綿状構造により著しく改善され、この海綿状構造はセンサとして働く物質の侵入深さに適合されている開孔径の形成の下でエッチング処理により得られる。孔壁は有利には、Siおよび/またはAlもしくはTa或いは窒化珪素から成り、特に1-100nmの厚みを有する非導伝性の境界層を備えている。海綿状構造の層の厚みは適当なのは10〜100μmであり、特に開孔は枝別れを備えたチャンネルの形で形成されており、このチャンネルの平均直径は1nm〜10μm、特に10〜1000nmである。センサとして働く物質は場合によってはガラス膜或いは固形物膜或いは合成樹脂膜或いはポリマー膜内に分散されて存在している。
請求項（抜粋）：
トランスダクタとして働く半導体基板上にセンサとして働く層を備えたシリコンをベースとした化学センサ、特にバイオセンサにおいて、基板表面をエッチング処理することにより形成された多孔質の層を有しており、この層が孔内に嵌合するセンサとして働く物質を備えており、この孔の開孔径がこのセンサとして働く物質の侵入能に適合されていることを特徴とする化学センサ、特にバイオセンサ。
IPC (3件)：
G01N 27/327
, G01N 27/30
, G01N 27/414
G01N 27/30 353 B
, G01N 27/30 Z
, G01N 27/30 301 L
