特許
J-GLOBAL ID：200903014432645777
半導体ウエハID管理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006370
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208566
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 ウエハIDリーダの台数を減らして安価に装置を構成する。【解決手段】 ウエハ6のテストを行なうプローブ1とウエハ6のウエハIDコードを読み取るウエハIDリーダ装置7とをそれぞれ別々に構成し、両者をマップデータサーバ10を介して接続する。
請求項（抜粋）：
ウエハのテストを行なうプローブと、上記ウエハのウエハIDコードを読み取るウエハIDリーダ装置と、上記プローブによるテスト結果を上記ウエハ毎に上記ウエハIDコードに即して記録するマップデータサーバとから構成したことを特徴とする半導体ウエハID管理装置。
Fターム (6件)：
4M106AA01
, 4M106DB21
, 4M106DH60
, 4M106DJ21
, 4M106DJ27
, 4M106DJ28
