特許

J-GLOBAL ID：200903014433932443

超音波処理装置および超音波処理装置の動作監視方法

発明者： 西澤 満良
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208837
公開番号（公開出願番号）：特開2001-029908
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：

【要約】【課題】 SWRメータを使用することなく、超音波振動子などの動作状態を確認することができる超音波処理装置および超音波処理装置の動作監視方法を提供する。【解決手段】 制御装置21は、電圧測定手段41により測定される高周波電源18の出力電圧Vaと、電流測定手段42により測定される出力電流Iaとを入力し、得られた電圧値と電流値から、超音波振動子の動作状態を表す変数であるSWR値ρaを算出する。そして、算出したSWR値が1.3よりも大でかつ1.5以下である場合には、基板洗浄装置の運転は停止せずにSWR値上昇の警告表示を実行する。またSWR値が1.5よりも大である場合には、SWR値が非常に上昇していることの警報表示を実行する制御を行なうとともに、基板洗浄装置全体の運転動作を自動的に強制停止させる制御を行なう。

請求項（抜粋）：

超音波振動を与えた流体により基板を処理する超音波処理装置において、流体に超音波振動を与える超音波振動子と、前記超音波振動子に対して電力を供給する電源と、前記電源から前記超音波振動子に対して供給される電圧値Vaを測定する電圧測定手段と、前記電源から前記超音波振動子に対して供給される電流値Iaを測定する電流測定手段と、測定した電圧値Vaおよび電流値Iaから前記超音波振動子の動作状態を表す変数を算出する変数算出手段とを備えたことを特徴とする超音波処理装置。

IPC (3件)：

B08B 3/12 ,  G01H 3/00 ,  H01L 21/304 643

FI (3件)：

B08B 3/12 A ,  G01H 3/00 Z ,  H01L 21/304 643 D

Fターム (16件)：

2G064AA12 ,  2G064AB29 ,  2G064BD02 ,  2G064CC55 ,  2G064CC62 ,  2G064DD29 ,  3B201AA02 ,  3B201AB14 ,  3B201BB22 ,  3B201BB85 ,  3B201BB93 ,  3B201CB01 ,  3B201CC12 ,  3B201CC13 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43