特許

J-GLOBAL ID：200903014438560749

薄膜磁気記録媒体、磁気ディスクドライブ、バリウムフェライト薄膜製造方法、及び長手磁気記録方法

発明者： リチャード ヘンリー アーラート ,  ジェイムズ ケント ハワード ,  トッド ラニア ハイルトン ,  マイケル アンドリュー パーカー ,  ムハマド イナイェト ウラー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-111608
公開番号（公開出願番号）：特開平7-044853
出願日： 1994年05月25日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】 有利な磁気特性、耐食性、持続性、及び固有のテクスチャを有するバリウムフェライト薄膜を提供すること。【構成】 薄膜60は、上面65と、基板70との界面を形成する底面67を有し、且つ基板と平行であり基板に面するようにスパッタリングターゲットを配向する同軸スパッタリングシステムにおいてバリウムフェライトターゲットの反応マグネトロンスパッタリングにより蒸着される。この構成は、薄膜の面に垂直に強力に磁気的に配向されることに限定されずに、基板をプラズマの周囲のターゲットに垂直に位置付けるスパッタリングシステムによる蒸着率よりも高い蒸着率を示す。

請求項（抜粋）：

薄膜磁気記録媒体であって、基板と、前記基板上に形成され且つ5000エルステッドよりも大きな面内飽和保磁力を有するバリウムフェライト薄膜と、を備える前記薄膜磁気記録媒体。

IPC (3件)：

G11B 5/66 ,  C23C 14/08 ,  G11B 5/85