特許
J-GLOBAL ID：200903014440318050
荷電粒子ビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-172768
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036986
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 短時間に安全に光学顕微鏡の自動的な焦点合わせを行うことができる荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】 電子ビームの自動焦点合わせによって得られた対物レンズ3の励磁強度は、対物レンズ3と試料との間の距離(ワーキングディスタンスと言う)に対応した値となる。この励磁強度信号はコンピュータ14に供給されるが、コンピュータ14は供給された信号からワーキングディスタンスを求め、その結果をメモリー23に記憶する。次にコンピュータ14はワーキングディスタンスが求められているので、この値に基づいて光学顕微鏡の自動焦点合わせを効率良く実行する。
請求項（抜粋）：
試料に照射される荷電粒子ビームの焦点を連続的に変化させ、それに伴って試料から得られた信号に基づいて荷電粒子ビームの焦点合わせを行う荷電粒子ビーム焦点合わせ手段と、試料を高さ方向に移動させ、光学顕微鏡の焦点合わせを行う光学的焦点合わせ手段とを備えており、荷電粒子ビーム焦点合わせ手段によって得られた焦点合わせ信号に基づいて、光学顕微鏡の焦点合わせ時の試料の高さ方向の移動範囲を制御する手段を有した荷電粒子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/21
, H01J 37/252
