特許
J-GLOBAL ID：200903014444457046
微小欠陥検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-127067
公開番号（公開出願番号）：特開平6-337250
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 パターンの特徴量の正常値を入力しなくても欠陥検出が可能で、微小な欠陥も精度良く検出できる微小欠陥検出装置を提供する。【構成】 CCDセンサ3で試料の特定範囲の輝度分布を検出し、検出データをフレームメモリ5に取り込む。画素列抽出回路10〜13により、フレームメモリ5の画像データから互いに平行な3本の画素列を抽出する。抽出した画素列上の線幅を測長回路14で検出し、線幅変化検出回路16により中央の画素列の線幅と左右の画素列の線幅の平均値との差が欠陥検出感度として定めた所定値以上のとき、欠陥候補判定回路17に欠陥候補情報を出力する。試料上にて欠陥候補とされた画素列が所定数連続したとき、欠陥選別回路18にて欠陥と判定する。
請求項（抜粋）：
試料上の検査対象のパターンと交差させて設定した直線状の判断対象域の輝度分布を検出し、該輝度分布に対応した画像データを出力する判断対象データ出力手段と、前記判断対象域と平行かつ一定距離を隔てて設定した比較対象域の輝度分布を検出し、該輝度分布に対応した画像データを出力する比較対象データ出力手段と、前記判断対象域を前記パターン上にて互いに隣接する少なくとも2つの位置に設定したときに前記判断対象データ出力手段および前記比較対象データ出力手段がそれぞれ出力する画像データに基づいて前記パターンの欠陥の有無を判断する欠陥判断手段と、を備えることを特徴とする微小欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G01B 11/30
, G06F 15/62 405
