特許

J-GLOBAL ID：200903014447125044

赤外線センサアレイ

発明者： 秦 久敏 ,  中木 義幸 ,  井上 博元
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 青山 葆 ,  河宮 治 ,  山田 卓二 ,  中野 晴夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-087939
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294296
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】赤外線検出感度を向上させた赤外線センサアレイを提供する。【解決手段】基板上に脚部で支持され、温度検知膜を有する赤外線検出部と、赤外線検出部の上に支持部で支持された赤外線吸収部とを含んだ赤外線センサを略直交する2軸方向に並置した赤外線センサアレイにおいて、赤外線センサが、互いに隣接するように配置された、基板からの距離がaである板状の赤外線吸収部を有する第1赤外線センサと、板状部分および板状部分の周囲に設けられ基板からの距離がaより大きい庇部分からなる赤外線吸収部を有する第2赤外線センサとからなり、第1赤外線センサと第2赤外線センサの赤外線吸収部が、基板の鉛直方向に離れて配置される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に脚部で支持され、温度検知膜を有する赤外線検出部と、該赤外線検出部の上に支持部で支持された赤外線吸収部とを含んだ赤外線センサを、該基板に含まれた略直交する2軸方向に並置した赤外線センサアレイであって、 該赤外線センサが、互いに隣接するように配置された、該基板からの距離がaである板状の該赤外線吸収部を有する第1赤外線センサと、該板状部分および該板状部分の周囲に設けられ該基板からの距離がaより大きい庇部分からなる該赤外線吸収部を有する第2赤外線センサとからなり、 該第1赤外線センサの該赤外線吸収部と、該第2赤外線センサの該赤外線吸収部とが、該基板の鉛直方向に離れて配置されたことを特徴とする赤外線センサアレイ。

IPC (2件)：

G01J1/02 ,  H01L27/14

FI (3件)：

G01J1/02 C ,  G01J1/02 Q ,  H01L27/14 K

Fターム (19件)：

2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BB11 ,  2G065BB24 ,  2G065BE08 ,  2G065CA13 ,  2G065DA18 ,  4M118AB01 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118CA16 ,  4M118CA32 ,  4M118CB12 ,  4M118FB03 ,  4M118FB24