電子伝導性の評価治具

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-077576
公開番号（公開出願番号）：特開2009-229373
出願日： 2008年03月25日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：

【課題】特に薄膜の電子伝導体に対し、断面方向における電子伝導性を正確に測定することができる評価治具を提供することにある。【解決手段】電子伝導体の上部に接触する電流測定用と電圧測定用の2本の測定子、電子伝導体の下部に接触する電流測定用と電圧測定用の2本の測定子を具備し、上部及び下部において各々の電流測定子と電圧測定子との電子伝導体との接触面における最短距離が、測定する電子伝導体厚さの200%以下であり、電流測定子間に電流を流して電圧測定子間の電圧を測定することを特徴とする電子伝導性の評価治具。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

電子伝導体の上部に接触する電流測定用と電圧測定用の2本の測定子、電子伝導体の下部に接触する電流測定用と電圧測定用の2本の測定子を具備し、上部及び下部において各々の電流測定子と電圧測定子との電子伝導体との接触面における最短距離が、測定する電子伝導体厚さの200%以下であり、電流測定子間に電流を流し、電圧測定子間の電圧を測定することを特徴とする電子伝導性の評価治具。

IPC (3件)：

G01R 27/02 , G01N 27/04 , G01R 1/073

FI (3件)：

G01R27/02 R , G01N27/04 Z , G01R1/073 A

Fターム (24件)：

2G011AA02 , 2G011AA13 , 2G011AE01 , 2G011AF06 , 2G028AA04 , 2G028BB00 , 2G028BC01 , 2G028BE10 , 2G028CG02 , 2G028FK01 , 2G060AA09 , 2G060AF01 , 2G060AF08 , 2G060AG11 , 2G060FA01 , 2G060HC10 , 5H050AA01 , 5H050AA19 , 5H050BA17 , 5H050CB08 , 5H050GA28 , 5H050GA30 , 5H050HA04 , 5H050HA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

抵抗測定装置及び抵抗測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-139428 出願人：エスペック株式会社

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