研磨方法および研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-347695
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180625
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】研磨加工の終点検出を、インプロセスかつ高精度で行うことができる研磨方法及び研磨装置を提供すること。【解決手段】上定盤19をフィードバック制御する上定盤モータドライバ20g が発生する電流IUD の積分値を計測し、この積分値が予め測定済みの研磨加工終点における積分値以上の値を検出した場合、加工を止める。本発明においてはIUD の積分値を求める際に定盤空転時の電流値を研磨駆動時の電流値から引いた値を積分する。また、上定盤19による検出のみならず、下定盤16で検出した電流ILD の積分値との和を用いて終点検出する。

請求項（抜粋）：

上定盤と、前記上定盤とともに被加工物を挟持する下定盤と、前記上定盤を回転駆動する上定盤駆動モータと、前記下定盤を回転駆動する下定盤駆動モータとを具備する研磨装置により前記被加工物の表面を平坦化する研磨方法において、前記研磨装置により前記被加工物の研磨をしていない空転時に前記上定盤駆動モータ及び前記下定盤駆動モータの少なくとも一方の駆動電流を検出する空転駆動電流検出工程と、前記研磨装置による前記被加工物の研磨中に前記空転駆動電流工程にて検出したモータの駆動電流を検出する研磨駆動電流検出工程と、前記研磨駆動電流検出工程にて検出された駆動電流から前記空転駆動電流検出工程にて検出された駆動電流を減じ終点判定電流を得る駆動電流減算工程と、この駆動電流減算工程にて得られた終点判定電流を積分し積分電流値を得る積分電流値演算工程と、この積分電流値演算工程にて得られた積分電流値と予め設定され、前記表面の平坦化を示す加工終点閾値とを比較し比較結果に基づいて加工終点と判定する加工終点判定工程とを具備することを特徴とする研磨方法。

IPC (4件)：

B24B 37/04 , B24B 49/10 , B24B 49/16 , H02P 7/67

FI (4件)：

B24B 37/04 D , B24B 49/10 , B24B 49/16 , H02P 7/67 F

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