特許
J-GLOBAL ID：200903014461688329
圧力変換器の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
真田 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-032858
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201201
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 温度変化によるアウトガスの発生を最小限に抑制し、基準圧力室の内圧変化を抑制すると共にゲージ素子の腐食を防止し、長期に亘り安定し出力特性を維持し且つ正確に温度補償を施し得る圧力変換器の製造方法を提供する。【構成】 ベーキング処理は、圧力変換器を120°C程度に加熱した状態で排気パイプ12を介して基準圧力室8内を真空引きすることで行われ、この際内部に存在する有機物や添着物等から発生するアウトガスを基準圧力室8から排出する。そして基準圧力室8の中に不活性ガスを充填してから排気パイプ12の先端を圧潰し、さらに半田により封止する。被測定流体は、導入通路2から導入されて、起歪ダイヤフラム3の受圧面を押圧してこれを変形させる。この変形量は、ひずみゲージ11によって電気信号に変換され、その電気信号は、ゲージリード11、ピン端子9を介して外部に導出される。
請求項（抜粋）：
受圧面とその背面との圧力差による起歪ダイヤフラムの変形を該起歪ダイヤフラムの背面に添着したひずみゲージを用いて電気信号に変換する圧力変換器において、前記起歪ダイヤフラムの背面側に基準圧力室を形成し、前記基準圧力室の開口端を気密端子で閉塞し、前記気密端子には内部に連通する排気パイプを気密に固着し、前記圧力変換器を所定の温度で加熱しながら前記排気パイプから前記基準圧力室内を真空引きして真空ベーキング処理することにより、前記基準圧力室内の有機物や付着物から放出されるアウトガスや水分を排出した後、不活性ガスを封入し、しかる後前記排気パイプを封止することを特徴とする圧力変換器の製造方法。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101
, G01L 19/04
, G01L 19/06
