特許

J-GLOBAL ID：200903014473214888

超音波アクチュエータ

発明者： 津幡 敏晴 ,  大内 孝司
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158936
公開番号（公開出願番号）：特開平7-015984
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、振動子の機械的共振周波数が温度および機械的負荷条件等により変動しても常に駆動周波数に一致するように補正される超音波アクチュエータを提供するにある。【構成】 超音波振動子の温度をサーミスタ5で検出し、インピーダンス制御量決定回路10でインピーダンスの制御量に関する信号を形成してインピーダンス可変回路11に入力する。このインピーダンス可変回路11では、上記インピーダンスの制御量に関する信号によって補正用の圧電素子4のスチフネスを変化させ、これによって振動子18全体のスチフネスを変化させ、超音波振動子の共振周波数の温度による変化を補正する。

請求項（抜粋）：

弾性体と、該弾性体に設けられた電気ー機械エネルギー変換素子とからなる超音波振動子と、この超音波振動子により駆動される被駆動体と、上記超音波振動子に固定され、両端に電極を有する他の電気ー機械エネルギー変換素子と、上記他の電気ー機械エネルギー変換素子の電極間のインピーダンスを変化させるインピーダンス変更手段と、を具備することを特徴とする超音波アクチュエータ。