バンプ高さ測定方法及びバンプ高さ測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211110
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148807
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】ワーク表面上に形成された突起状のバンプの高さを高速かつ高精度に測定することができるバンプ高さ測定方法を提供すること。【解決手段】基板WのバンプBを含む領域に対して所定の仰角で、かつ、相対する二方向から光を照明し、バンプBの影を基板W上に投影する照明工程と、この照明工程で照明されている基板W上の領域Rを撮像してバンプBの影を有する画像信号を出力する撮像工程と、画像信号からバンプBの影のみが抽出された二値化画像信号を出力する影抽出工程と、二値化影画像信号からバンプBの二方向の影の先端間の長さLを求め、得られた影の長さと仰角からバンプの高さを求める影長さ演算工程とを備えている。

請求項（抜粋）：

ワークの表面に形成された突起状のバンプの高さを測定するバンプ高さ測定方法において、上記ワークの上記バンプを含む領域に対して所定の仰角で、かつ、相対する二方向から光を照明し、上記バンプの影を上記ワーク上に投影する照明工程と、この照明工程で照明されている上記ワーク上の上記領域を撮像して上記バンプの影を有する画像信号を出力する撮像工程と、この撮像工程で得られた上記画像信号から上記バンプの影のみが抽出された二値化画像信号を出力する影抽出工程と、この影抽出工程で抽出された上記二値化影画像信号から上記バンプの二方向の影の先端間の長さを求め、得られた影の長さと上記仰角から上記バンプの高さを求める影長さ演算工程とを備えていることを特徴とするバンプ高さ測定方法。

IPC (4件)：

G01B 11/02 , G01B 11/24 , G06T 7/00 , H01L 21/60 311

FI (5件)：

G01B 11/02 H , G01B 11/24 C , G01B 11/24 K , H01L 21/60 311 S , G06F 15/62 400

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