特許

J-GLOBAL ID：200903014494456903

インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置

発明者： 鈴木 工 ,  鈴木 敏夫 ,  末岡 学 ,  小山 修司 ,  川尻 幸雄 ,  山本 寿 ,  柴田 誠
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-276325
公開番号（公開出願番号）：特開平7-125208
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【構成】 インクジェットヘッドの電気熱変換体を、(1)基板上に、a)発熱抵抗体HfB2層、b)そのHfB2層との間で選択的エッチング可能な金属から成る厚さ10nm以上の密着金属層、c)配線導体が形成され、さらに熱作用部では密着金属層がエッチング除去された構造、あるいは(2)基板上に、a)第一発熱抵抗体層、b)第一発熱抵抗体層よりシート抵抗値がかなり高い第二発熱抵抗体層、c)配線導体が形成された構造とする。【効果】 寿命が安定して抵抗値が安定的に得られるインクジェットヘッドを得ることができる。

請求項（抜粋）：

熱作用面上のインクに直接与えられるインク吐出用熱エネルギーを通電によって発生する発熱抵抗体を基板上に有し、該発熱抵抗体上に密着金属層および配線導体がこの順で設けられ、インク発泡を起こす熱作用部では該配線導体がエッチング除去されている電気熱変換体を具備するインクジェットヘッドにおいて、発熱抵抗体がHfB2層であり、密着金属層が該発熱抵抗体との間で選択的エッチング可能な金属から成る厚さ10nmないし1μmの層であり、熱作用部では該密着金属層がエッチング除去されていることを特徴とするインクジェットヘッド。