特許
J-GLOBAL ID：200903014499142761
欠陥検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265814
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118006
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 被検査体の炭化物のような表面異常と水滴等の表面異常の如くの表面異常の差異を分類し、特定の表面異常のみを欠陥として検出可能とすること。【構成】 欠陥検出装置10において、信号の基準値設定手段31、基準値からの変位をもとに表面の非定常性を検出する非定常性検出手段32、信号を格納する信号格納手段33、信号波形の形状に基づいて表面異常を分類する波形分類手段34からなる欠陥検出部12を有するもの。
請求項（抜粋）：
被検査体表面からの反射光を受光する手段と受光量を電気信号に変換する手段を複数有する信号入力部と、信号入力部からの信号により表面の非定常性を検出し被検査体の欠陥を検出する欠陥検出部とを有してなる欠陥検出装置であって、欠陥検出部は、信号の基準値設定手段、基準値からの変位をもとに表面の非定常性を検出する非定常性検出手段、信号を格納する信号格納手段、信号波形の形状に基づいて表面異常を分類する波形分類手段からなることを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88
, G06F 15/62 400
