特許

J-GLOBAL ID：200903014503702564

レーザー走査顕微鏡

発明者： 大木 裕史 ,  埜田 友也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304795
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160305
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】なるべく簡単な構成によって、さまざまな観察角度から同一の被検物体を観察した像が得られるレーザー走査顕微鏡を提供する。【構成】レーザー光源と、該レーザー光源からの光を集光して被検物体上に光スポットを形成する照明光学系と、前記被検物体に対して前記光スポットを相対的に移動させるための走査手段と、前記被検物体を透過または反射した光量を測定するための光検出器と、前記被検物体を透過または反射した光束を前記光検出器の受光面上に導く集光光学系とを有するレーザー走査顕微鏡において、前記光検出器は、前記光検出器の前記受光面上に光束が前記被検物体の遠視野回折パターンを形成する程度の大きさをもって入射するように配設された2次元イメージセンサであるレーザー走査顕微鏡。

請求項（抜粋）：

レーザー光源と、該レーザー光源からの光を集光して被検物体上に光スポットを形成する照明光学系と、前記被検物体に対して前記光スポットを相対的に移動させるための走査手段と、前記被検物体を透過または反射した光量を測定するための光検出器と、前記被検物体を透過または反射した光束を前記光検出器の受光面上に導く集光光学系とを有するレーザー走査顕微鏡において、前記光検出器は、前記光検出器の前記受光面上に光束が前記被検物体の遠視野回折パターンを形成する程度の大きさをもって入射するように配設された2次元イメージセンサであることを特徴とするレーザー走査顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G01N 21/27

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 静止画像伝送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-120755   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭61-219920
  
• 特開昭61-219920