特許

J-GLOBAL ID：200903014504431742

薄膜配線構造、薄膜トランジスタ及びその製造方法

発明者： 古島 輝彦 ,  中井 法行 ,  庄司 辰美
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-061537
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261291
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】 真空中の熱処理後の比抵抗を5μΩcm以下とすることができる上、歩留り良いプロセスを構築できる薄膜配線構造を提供する。【解決手段】 基板1に順次形成されたTa又は窒化タンタルからなる第1の導電膜2と、Alの金属からなる第2の導電膜3と、Ta又は窒化タンタルからなる第3の導電膜4と、Ti又は窒化チタンからなる第4の導電膜5とからなり、第1、第3および第4の導電膜のそれぞれの膜厚は、第2の導電膜の膜厚の10%以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に積層形成される薄膜配線構造であって、前記基板に順次形成された第1の導電膜と、第2の導電膜と、第3の導電膜と、第4の導電膜とからなり、前記第1の導電膜は、Ta又は窒化タンタルによって構成され、前記第2の導電膜は、Alによって構成され、前記第3の導電膜は、Ta又は窒化タンタルによって構成され、前記第4の導電膜は、Ti又は窒化チタンによって構成され、また、前記第1、第3および第4の導電膜のそれぞれの膜厚は、前記第2の導電膜の膜厚の10%以下であることを特徴とする薄膜配線構造。

IPC (9件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/43 ,  H01L 21/336 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26

FI (11件)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/28 301 R ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26 Z ,  H01L 29/78 617 L ,  H01L 21/88 R ,  H01L 21/88 N ,  H01L 29/62 G ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 617 V

Fターム (88件)：

2H092GA25 ,  2H092JA26 ,  2H092JA40 ,  2H092JB24 ,  2H092JB57 ,  2H092KB04 ,  2H092MA07 ,  2H092MA18 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DA02 ,  4M104AA09 ,  4M104BB17 ,  4M104BB32 ,  4M104CC05 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104HH03 ,  4M104HH16 ,  5C094AA05 ,  5C094AA14 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA29 ,  5C094BA44 ,  5C094CA19 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094JA01 ,  5C094JA08 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH18 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ08 ,  5F033KK08 ,  5F033KK18 ,  5F033KK21 ,  5F033KK32 ,  5F033KK33 ,  5F033MM08 ,  5F033PP15 ,  5F033PP16 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ15 ,  5F033QQ24 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR06 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW02 ,  5F033XX08 ,  5F033XX16 ,  5F110AA03 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110AA28 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE01 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE11 ,  5F110EE15 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG45 ,  5F110HK03 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK33 ,  5F110NN04 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73