特許
J-GLOBAL ID:200903014509371209

平面集束電極付電界放出カソード

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 脇 篤夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-154394
公開番号(公開出願番号):特開平11-345560
出願日: 1998年06月03日
公開日(公表日): 1999年12月14日
要約:
【要約】【課題】 発光面における電子ビームスポットの形状の歪み、到達位置のずれ等を少なくした平面集束電極付電界放出カソードを提供する。【解決手段】 絶縁層3上に形成された引出電極部1c、絶縁層3および引出電極部1cの積層部分に開けられた開口部4内に設けられたコーン状エミッタ11等のエミッタチップ、および、この引出電極部1cとともに絶縁層3の同一平面上に形成され、引出電極部1cの周囲に間隔をおいてかつ一部に開放部を有して取り囲む集束電極2を有する。引出電極1cが引出線部1bにより開放部を通ってゲート配線部1aに接続されており、引出線部1bの表面が絶縁膜5に覆われている。引出電極部1cは、幅方向に1つの画素の各色に対応して3個設けられ、集束電極2は、各引出電極1cを挟むように、1つの画素に対応して4本の櫛歯部分が設けられる。
請求項(抜粋):
絶縁層、該絶縁層上に形成された引出電極、前記絶縁層および前記引出電極の積層部分に開けられた複数の開口部、該開口部内に設けられたエミッタチップ、および、前記絶縁層上に前記引出電極と同一平面上に形成され、前記引出電極の周囲に間隔をおいてかつ一部に開放部を有して取り囲む集束電極を有する平面集束電極付電界放出カソードであって、前記引出電極は引出線により前記開放部を通ってゲート配線に接続され、前記引出線の表面は絶縁膜により覆われていることを特徴とする平面集束電極付電界放出カソード。

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